在多数情况下，为确认不同参数之间的相关性，样品分析通常使用多种技术方法。对于AFM和SEM成像技术而言，这在某种程度上预示着在真实的操作中需要对相同的区域作对比分析。2022年10月，美国Quantum Design公司重磅推出，将SEM和AFM技术融合在一台设备上。用户不需要将样品从一台显微镜移动到另一台显微镜，也不必使用两个不同的操作系统来分析样品上的同一位置，而是在
FusionScope多功能显微镜提供了带有SEM功能的原子力显微镜的所有优点。它可以在一定程度上完成标准AFM的测量模式，包括接触、动态和FIRE模式（Finite Impulse Response Excitation ）。只需单击按钮，即可在亚纳米分辨率下切换AFM和SEM成像模式，并获取所需的数据。通过更换悬臂，AFM可轻轻松松实现高级工作模式，例如
FusionScope同时提供EDS能谱仪选件，可以在扫描电镜中对样品进行元素和化学分析，在纳米及微米尺度上收集更准确的数据。结合已有的AFM/SEM，使测量更加多功能化。
同一时间、同一样品区域和相同条件下的原位共享坐标测量，避免样品转移过程中的污染风险，很适合环境敏感样品；
三维/二维表面形貌成像，力学/机械性能测量、电学测量、磁学测量；SEM配备EDS功能；
★利用SEM进行实时、快速、精准导航AFM针尖，以此来实现AFM对感兴趣区域的精准定位与测量。无需转移样品，原位进行80°AFM与样品台同时旋转。
FusionScope的创新功能之一是剖面成像，即在测量时可以实时观察AFM悬臂的针尖。通过这种剖面工作方式，即使是难以到达的样品区域也可以用AFM探针非常精确地接近，从而测量形状复杂的样品。
通过结合SEM和AFM的互补优势，FusionScope打开了通往全新应用可能性的大门！涵盖多个应用领域：材料科学、纳米结构、半导体或太阳能电池行业、生命科学......
FusionScope可以针对感兴趣的区域进行结构、机械、电学、磁学和化学性质分析，实现对样品的全方位表征。
双相不锈钢是含有奥氏体和铁素体相的混合物，与标准钢相比，具有更高的机械强度和延展性。原位磁力显微镜（In-situ MFM）可以详细分析不一样的双相不锈钢样品的磁性。
使用FusionScope可以轻松观察不锈钢表面的不同相，并且AFM探针很容易定位在两个不同相的晶界处。使用磁性悬臂可以分析不锈钢的磁性并对铁磁区域进行高分辨成像。
陶瓷的宏观电子性能由单晶间形成的晶界决定。为了更好地了解BaTiO3的整体电阻，科学家一定要能在纳米尺度表征晶体材料中的电位差。这种表征能够最终靠静电力显微镜（EFM）完成。FusionScope能够直接进行原位EFM分析，利用SEM的高分辨率轻松识别晶界，并直接在感兴趣区域进行EFM分析。
得益于其简单的软硬件操作及一目了然的操作的过程，FusionScope可快速完成电子或半导体器件的失效分析及质量控制。
针尖位置，而FusionScope解决了这一难题。利用SEM可以精准定位样品区域，并实时监测AFM位置和测量结果。
工作，近年来晶体管尺寸的减小对质量控制和失效分析也提出了更高的要求。借助FusionScope及其剖面成像功能，用户都能够轻松地将悬臂针尖定位至感兴趣的区域，并对样品进行高分辨率 AFM 分析、亚纳米级分辨率3D形貌测量、导电 AFM测量等。
结合高分辨率SEM和AFM，用户能轻松表征纳米结构，如纳米线D材料和纳米颗粒等。
从纳米机电传感器及光学器件的许多应用研究中，二维材料的独立悬浮膜引起科学家的极大兴趣。其表征大多依赖于扫描探针显微镜技术，如原子力显微镜（AFM）。然而，与刚性样品不同，悬浮的2D原子级薄膜是柔性的，在AFM测量过程中会受到机械干扰，这可能导致实验结果的偏差。FusionScope可以通过在实时观测膜变形来规避这些缺点，从而更好地获取AFM数据。
为了检测样品表面区域的最小变化，需要尽量减少AFM机械和电气噪音的影响，这在高真空系统中尤其具有挑战性。FusionScope性能优异，实现了真正的原子分辨率的AFM测量。
(图1) HOPG的SEM图像，悬臂位于测试区域上方（剖面成像模式）
生命科学FusionScope可以准确、轻松地获取生物样品的纳米级形貌，特别是对于难以触及的或非常小的样品区域，实现高精度物性表征，如3D形貌，刚度和粘附力等…
对难以触及的样品区域，进行SEM/AFM分析非常有挑战，比如骨组织的分析，特别是骨表面的空隙和胶原纤维的详细测量。FusionScope可以对空隙结构进行快速简便的识别和成像。通过SEM的大视野识别空隙，并可将悬臂直接定位在空隙结构上，然后通过AFM实现亚纳米分辨率的空隙和胶原纤维的线D形貌。
用FusionScope显微镜，可以精准定位贝壳表面上的硅藻。在剖面模式下，用户都能够轻松地将AFM悬臂尖端定位到选择的硅藻结构上，并进行3D形貌分析。
动态模式动态模式，也称为间歇性接触或Tapping模式，悬臂在其谐振频率附近振荡。当探针靠近表面时，探针和样品之间的相互作用导致振荡幅度发生明显的变化。当悬臂扫描样品时，调整高度以保持设定的悬臂振荡幅度，进行AFM成像。
左：在动态模式下测量的石墨烯膜的关联SEM和AFM图像；右：单个石墨烯膜的高分辨率AFM形貌图像
FIRE模式是一种新型的、间歇性接触AFM技术。FIRE模式基于在高于驱动频率、但低于悬臂共振频率的频域中，对悬臂信号进行仔细的检测，得到样品刚性与粘附力信息。
利用FIRE模式测量双组分聚合物样品（聚苯乙烯和聚烯烃弹性体）的AFM形貌图像（左）和刚度（右）
左：硅衬底上Au电极结构的SEM图像；中：电极结构的AFM形貌图像；右：电极结构的电导率图
静电力显微镜（EFM）静电力显微镜（EFM）是一种相位成像技术，经过测量样品衬底电场的成像变化，从而研究表面电位和电荷分布。
BaTiO3陶瓷的SEM图像显示出不同的晶界（左）；AFM图像（中）；EFM相位图像（+1.5V偏置电压）
磁力显微镜磁力显微镜（MFM）是一种相位成像模式，利用磁性AFM探针来研究磁性材料的性质。
多层Pt/Co/Ta样品的AFM图像（动态模式，左）及相同区域的MFM图像（右）
使用聚焦电子束，FusionScope能轻松实现样品表面的高分辨率成像。凭借其高灵敏度的SE模式，FusionScope可以在几纳米级别获得形貌信息。
锡球的SEM图像，图像水平场宽度为50 μm（左）；高倍率显微照片显示了左图中破碎锡球的表面细节（右）
★ FusionScope可以从毫米级到纳米级进行扫描，因此易于定位，且具有非常的高分辨率；
★ 快速分析功能，大范围的应用于生物和医学科学、陶瓷、质量控制、失效分析、法医学调查、生命科学与半导体检测等应用领域。
Quantum Design自主研发的FusionScope多功能显微镜，开创性地将扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)两种技术无缝融合在一台设备上。无需移动样品或切换操作系统，快速完成在同一用户界面内、同一空间位置的 SEM 和 AFM 的互补性综合测量，避免了样品转移过程中的污染风险。SEM可提供精准样品视野信息，为AFM扫描提供直观的目标区域，实现原位的动态观测。FusionScope独创的剖面成像功能，可在-10-80°范围内实现样品台旋转，实时观察AFM针尖探测过程，无视野盲区，形状复杂样品的表征也能轻松应对！FusionScope把SEMAFM 和AFMSEM 对样品的表面结构，力学性能，电磁学等表征推向了更宽广的无限可能！ 二者的强强联合，同时解决了SEM信息结果单一，AFM扫描下针位置不清晰两大难题，为复杂形貌样品的表面力学性能探测提供了完善的解决方案，可视化的AFM探针扫描过程，能够为用户所带来直观的测样体验。
推广应用快速检测技术 筑起保供农安新防线——青岛西海岸新区大力推行胶体金免疫层析速测技术
半导体产业复苏在即 检测技术新趋势、新方向在这里｜直击中国检测技术和半导体应用大会
“湾区标准”达183项！粤港将深化质量和检测认证及食品安全工作交流合作
西南交通大学277.48万元采购ICP-AES,天平,搅拌器,紫外分析仪,表面张力仪,旋光仪,折光仪...
1200万！国家毒品实验室四川分中心装备及业务用品和某单位超高效液相色谱质谱联用仪采购项目
创新引领 YOUNG帆起航——仪器信息网25周年 我们不一YOUNG！
